上海芯刻微材料技術有限責任公司是上海新陽（300326）的子公司，致力于高端光刻膠產品及配套試劑的研發和產業化，打破國外壟斷，為IC制造行業提供質優價平的光刻材料解決方案。上海芯刻微成立于2018年5月，注冊資本1.5億人民幣，項目總投資2億人民幣。上海芯刻微具備獨立的研發生產基地，且配有1000 class clean room 即將裝備ASML Scanner & Track 用于光阻測試依靠新陽實驗研發平臺,擁有多種分析檢測設備,并新增多種先進的材料分析檢測設備。公司從事光刻膠研發、生產、銷售等相關業務。擁有穩定的國內外光刻膠單體及樹脂供應商，可提供穩定的光酸，表面活性劑等，以上保證原材 料的穩定；品質保證方面，與PALL，Entegris建立穩定供貨協議等，形成穩定的質量保證體系。公司立項研發光刻膠，先后引進技術團隊，不但擁有開發G 線、 I 線、 KrF（氟化氪）以及ArF（氟化氬）等光刻膠及相關關鍵材料的豐富經驗， 而且擁有光刻膠樹脂及各種光引發劑的開發設計及應用經驗。項目團隊對光刻膠及原材料的研發體系具有良好的基礎，目前所開發的ArF和KrF光刻膠樣品均取得了理想的曝光結果。芯刻微會進一步加強自己的研發實力，把研發方向拓展到I-line膠、KrF膠、Spin-On Carbon等多種類的光刻膠及配套試劑。依托上海新陽的資金、品牌和資源優勢，上海芯刻微決心打造成為國內領先的高端光刻材料供應商。